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TG1400F日本大阪真空OSAKA渦輪分子泵北崎熱賣

更新時間:2025-11-08      瀏覽次數:16

任何方向類型 TG-F 系列

使用油脂潤滑球軸承,用于小型、輕便和低成本的泵。抗沖擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。

潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

ターボ分子ポンプ斷面図(グリス潤滑玉軸受形

產品陣容

TG1400F

TG1400F

■ 任何方向

■ 緊湊的尺寸

■ 節能

■ 快速啟動

■ 帶排氣口快速關閉

■ 用于涌入空氣的耐用結構

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

應用

■ 半導體生產

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設備

■ 燈具生產、光學元件生產

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研究與開發

*如果排出腐蝕性氣體,請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。


入口法蘭VG200
ISO-B200
CF200 認證
體積流量N2(長/秒)1400
N2
(帶防護屏)
(長/秒)
1300
H2(長/秒)750
最大壓縮
N21×108
H24.3×103
基礎壓力(賓夕法尼亞州)
(托爾)
<1×10-6
<7.5×10-9
最大吞吐量※1(SCCM)450
啟動時間(分鐘)5.5-7
關機時間(分鐘)15-18
最大背壓(賓夕法尼亞州/托爾)330/2.5
推薦的前級
真空泵
(升/分鐘)≧250
位置任何方向
重量VG?ISO-B/CF(kg)29/30
控制器TC1103型

*1 : 使用500L/min的前級真空泵時。

[使用環境溫度]

確保您達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C,水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C,冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

一些使用氣體會使潤滑脂和內部零件變質。請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。



電話:TEL

86-010-67868591

地址:ADDRESS

朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B

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